Hazırlık yöntemimetal silikon tozunispeten basit ve kolaydır ve hazırlık ilkesi de basit ve anlaşılması kolaydır. Belli miktarda kaba silikon tozunu dağıtmak, plazma arkına inert gaz ile göndermek ve anında ısıtmak, böylece kaba silikon tozu nispeten yüksek bir sıcaklıkta silikon buharda buharlaşır. Silikon buharı daha sonra soğutma bölgesine girer ve nano seviyeli metal silikon tozu olmak için yoğunlaşır.
Kimyasal buhar biriktirme yöntemi: Silan, ısı, mikrodalgalar, lazerler ve plazma gibi dış enerjinin etkisi altında yüksek hidrojen seyreltme durumu altında silikon ve hidrojene ayrıştırılır ve nano-silikon tozu hazırlamak için gaz fazı ortamında hızlı bir şekilde yoğunlaşır. ;
Bilyalı öğütme yöntemi: Mekanik rotasyon ve parçacıklar arasındaki etkileşim ile üretilen büyük sürtünme, daha büyük silikon malzemeleri nano boyutlu tozlara öğütmek için kullanılır. Bilyalı öğütme yöntemi ile üretilen metal silikon tozu, yüksek bir safsızlık içeriğine sahiptir, parçacık boyutu dağılımı iyi kontrol edilemez ve işlem sonrası nispeten hantaldır.
Metal Silikon Toz Ürün Ekran
